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2025年12月16日 星期二
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  • 掃描探針顯微鏡

      主要技術指標:掃描范圍100um(微米),縱向分辨率優于1A(埃),橫向分辨率優于1nm(納米)。  功能/應用范圍:掃描探針顯微鏡(SPM)的納米量級的分辨率和光學顯微鏡的...

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  • 二次離子質譜儀

      主要技術指標:(1)深度分辨率:幾個納米;(2)空間分辨率:<一個微米;(3)質量分辨率:m/m5000(4)檢測靈敏度:ppmppb;(5)絕緣層厚度為幾個微米的樣品質譜分析  功能...

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  • 磁控濺射系統

      主要技術指標:真空度達1X10-6乇,襯底溫度可達100度直流濺射電源功率1000瓦  功能/應用范圍:有2個DC濺射靶,可以在真空狀態下濺射生成一類材料薄膜或多層不同薄膜,...

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  • 雙束聚焦離子束系統

      主要技術指標:離子束:30kv分辨率7nm,加速電壓2-30kv。電子束:鎢燈絲電子槍  功能/應用范圍:材料微細加工及樣品制備?! ≈饕獪y試和研究領域:材料/珠寶首飾電子/信息...

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