主要技術指標:1.真空腔尺寸:Φ1100×1200 2.極限真空度: 2×10-4Pa 3.坩堝容積: 2×1000ml 3.電子槍功率:10kW
功能/應用范圍:可用于氧化物等薄膜材料的制備.
主要測試和研究領域:材料/珠寶首飾電子/信息技術
收費標準:其它收費方式
儀器負責人:鄭玉祥,陳良堯 電話:656463470
電子郵件:yxzheng@fudan.ac.cn
傳真:65643470
通訊地址:上海市邯鄲路220號
郵政編碼:200433
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