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或者

復旦大學信息科學與工程學院

檢測認證人脈交流通訊錄
  • 儀器名稱:高真空多靶磁控濺射儀
  • 價格型號:KJLC CMS-18*
  • 儀器分類:高真空多靶磁控濺射儀
  • 應用領域:電腦 軟件;電子元器件
  • 所屬單位:復旦大學信息科學與工程學院
  • 所在地點:上海市楊浦區邯鄲路220號
  • 產  地:美國
  • 產  商:美國KURT J.LESKER公司
  • 價  值:0
  • 購置日期:0000-00-00

  

主要技術指標:1、Loadlock預抽真空;2、本底真空:2*10e-8 Torr;3、基板加熱,0-400度;4、基板旋轉速度可調,1-20 rpm;5、三路氣體,可反應濺射;6、五個2英寸濺射槍,和一個3英寸濺射槍;7、三個直流電源和一個射頻電源,可制備多層膜和合金薄膜。

  

功能/應用范圍:制備金屬和非晶屬薄膜,及多層膜。

  

主要測試和研究領域:電子/信息技術

  

收費標準:按樣品、小時數收費

  

儀器負責人:馬斌 電話:65642059

  

電子郵件:magnmb@fudan.edu.cn

  

通訊地址:邯鄲路220號復旦大學光科系

  

郵政編碼:200433

復旦大學信息科學與工程學院



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