檢測認證人脈交流通訊錄
- 儀器名稱：高真空多靶磁控濺射儀
- 價格型號：KJLC CMS-18*
- 儀器分類：高真空多靶磁控濺射儀
- 應用領域：電腦 軟件;電子元器件
- 所屬單位：復旦大學信息科學與工程學院
- 所在地點：上海市楊浦區邯鄲路220號
- 產 地：美國
- 產 商：美國KURT J.LESKER公司
- 價 值：0
- 購置日期：0000-00-00
主要技術指標：1、Loadlock預抽真空；2、本底真空：2*10e-8 Torr；3、基板加熱，0-400度；4、基板旋轉速度可調，1-20 rpm；5、三路氣體，可反應濺射；6、五個2英寸濺射槍，和一個3英寸濺射槍；7、三個直流電源和一個射頻電源，可制備多層膜和合金薄膜。
功能/應用范圍：制備金屬和非晶屬薄膜，及多層膜。
主要測試和研究領域：電子/信息技術
收費標準：按樣品、小時數收費
儀器負責人：馬斌 電話：65642059
電子郵件：magnmb@fudan.edu.cn
通訊地址：邯鄲路220號復旦大學光科系
郵政編碼：200433
