檢測認證人脈交流通訊錄
- 儀器名稱：磁控濺射裝置
- 價格型號：
- 儀器分類：其他
- 應(yīng)用領(lǐng)域：電腦 軟件;電子元器件
- 所屬單位：復(fù)旦大學(xué)信息科學(xué)與工程學(xué)院
- 所在地點：上海市楊浦區(qū)邯鄲路220號
- 產(chǎn) 地：英國
- 產(chǎn) 商：牛津儀器公司
- 價 值：0
- 購置日期：0000-00-00
主要技術(shù)指標：真空度<1e-6mBar，薄膜淀積速率1~10nm/min
功能/應(yīng)用范圍：離子束濺射，可用于金屬薄膜淀積和樣品物理刻蝕
主要測試和研究領(lǐng)域：電子/信息技術(shù)
收費標準：其它收費方式
儀器負責(zé)人：茹國平,陳潔
電話：65643561
電子郵件：gpru@fudan.edu.cn
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