主要技術指標:1.點分辨率2.3A;2.信息分辨率1A;3.場發射電子槍;4.2k′2kCCD替代普通相機;5.最小束斑直徑1nm
功能/應用范圍:1.微觀形貌結構觀測;2.在位成分分析;3.集成電路芯片定量剖析;4.材料研究;5.失效分析
技術特色:1.HREM照片;2.微區成分及結構分析;3.IC尺寸的正確提取;4.缺陷研究
主要測試和研究領域:材料/珠寶首飾電子/信息技術
收費標準:其它收費方式
儀器負責人:李楠 電話:65643033
電子郵件:fudantem@263.net