磁控濺射裝置

　　主要技術指標：真空度<1e-6mBar，薄膜淀積速率1~10nm/min 　　功能/應用范圍：離子束濺射，可用于金屬薄膜淀積和樣品物理刻蝕 　　主要測試和研究領域...

復旦大學信息科學與工程學院

飛秒激光器系統

　　主要技術指標：重復頻率1KHz,單脈沖能量600微焦耳，脈沖寬度50fs　　功能/應用范圍：超快光譜學、非線性光學　　主要測試和研究領域：電子/信息技術　　收費標準：其它收...

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化學機械拋光系統

　　主要技術指標：8寸 　　功能/應用范圍：拋光硅片 　　主要測試和研究領域：電子/信息技術 　　收費標準：其它收費方式 　...

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電子束光學鍍膜機系統

　　主要技術指標：1.真空腔尺寸:Φ1100×12002.極限真空度:2×10-4Pa3.坩堝容積:2×1000ml3.電子槍功率：10kW　　功能/應用范圍：可用于氧化物等薄...

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矢量信號分析儀

　　主要技術指標：　　*dc-4.1GHz頻率覆蓋，具有36MHz分析帶寬　　*靈活的解調，對許多標準制式的單鍵設置　　*Agilent獨特的差錯分析特性，包括隨時間變化的EVM，隨時間變化的相...

復旦大學信息科學與工程學院

高真空多靶磁控濺射儀

　　主要技術指標：1、Loadlock預抽真空；2、本底真空：2*10e-8Torr；3、基板加熱，0-400度；4、基板旋轉速度可調，1-20rpm；5、三路氣體，可反應濺射；6、五個2英寸濺射槍，和一個3...

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電學測試系統

　　主要技術指標：電流精度10fA電容高頻1MHz 　　功能/應用范圍：用于半導體器件的電學(IV、CV)特性測試 　　主要測試和研究領域：電子/信息技術 ...

復旦大學信息科學與工程學院

掃描探針顯微鏡

　　主要技術指標：AFM噪聲水平0.3,可對云母、石墨原子像成像控制器反饋相應時間：2s,采樣率50MHZ掃描范圍：0.4μm×0.4μm×0.4μm或10μm×10μm×2...

復旦大學信息科學與工程學院

納米器件濺射儀

主要技術指標：樣品尺寸為4寸硅片濺射室極限真空優于1.210-6Pa，進樣室(loadlock)真空優于6.710-4Pa淀積薄膜厚度均勻性優于3%襯底可加熱，溫度最高可達800oC 功能/應用范...

復旦大學信息科學與工程學院

存儲薄膜濺射儀

　　主要技術指標：極限真空：成膜室1.210-6Pa(loadlock)準備室6.710-4Pa樣品尺寸：4寸(1片/次)可通3路氣體：Ar、N2、O2(50sccm)?？勺銎胀R射、共濺射和反應濺射，可對樣...

復旦大學信息科學與工程學院

集成電路自動測試系統

　主要技術指標：數字通道：16路P1000數字通道；128路C400e數字通道；80路C200e數字通道模擬通道：一塊AV8，含四路24bit音頻DAC/ADC模塊，四路14bit視頻DAC/ADC模塊一塊WGD，500MspsAW...

復旦大學信息科學與工程學院

原位納米力學測試系統

　　主要技術指標：納米壓痕試驗縱向載荷力和位移可實現的最大載荷：10mN位移分辨率：0.0004nm可實現的最大位移：5μm2納米劃痕試驗橫向載荷力和位移可實現的最小橫向力：<5μN...

復旦大學信息科學與工程學院

納米熱分析系統

　　主要技術指標：分辨率10X10納米Multimode8型　　功能/應用范圍：納米材料表面形貌、納米薄膜粗糙度研究，納米材料粒徑測量、納米復合材料相組成研究及復合材料界面研究...

復旦大學信息科學與工程學院

高級熒光生物顯微鏡系統

功能及用途 用于各種材料壓片尤其是熒光材料的高清晰觀察并進行拍照、圖象分析 主要技術指標 載物臺垂直運動：25mm行程，帶有粗調限位器，最...

石家莊市農林科學研究院

物理特性測試系統 (physical property measurement system)

主要技術指標：溫度范圍：1.9-400K；磁場：+-9TACMS選件：交流磁化率：2*10-8emu；直流磁化率：2.5*10-5emu；VSM選件：直流磁化率：10-7emuACT交流電輸運；Resistivity電阻(<=4M歐姆...

復旦大學物理學系

超高真空分子束外延生長和原位測量系統 (vacuum system for surface studies)

　　主要技術指標：真空度優于1＊10-10torr 　　功能/應用范圍：超高真空生長磁性金屬超薄膜以及復雜氧化物薄膜 　　技術特色：能夠生長各種臺階樣品以及楔形...

復旦大學物理學系

超短脈沖激光器

主要技術指標：Avg.ModelockedPower:>300mW　Bandwidth:>70nm　CentralWavelength(nominal):800nm　RepetitionRate:80MHz　PulseWidth:<20fs　Internal...

復旦大學物理學系

磁控濺射真空鍍膜機

功能用途： 應用于塑料制品、陶瓷、樹脂、水晶玻璃制品等、工藝品、塑料手機殼、電子產品、建材等行業。 磁控濺射鍍膜機主要是使用直流(或中頻)磁控濺射，可...

河北科技大學

強磁場低溫系統 (Low temperature superconducting magnet system)

主要技術指標：最大磁場15T，最低溫度300mK　　功能/應用范圍：低溫時測量樣品在磁場下電學輸運性質　　技術特色：垂直樣品的磁場能達到15T，測量噪聲低　　...

復旦大學物理學系

電子束蒸發系統 (Thin Film Depostion System)

主要技術指標：電子槍功率3kW，本底真空10E-9Torr，6寸旋轉樣品托(可液氮冷卻)，坩堝5*2.24cc 功能/應用范圍：蒸鍍各種金屬薄膜 主要測試和研究領域：電子/信...

復旦大學物理學系