檢測認證人脈交流通訊錄
- 儀器名稱：存儲薄膜濺射儀
- 價格型號：ACS-4000-C4 Type S型*
- 儀器分類：其他
- 應用領域：電腦 軟件;電子元器件
- 所屬單位：復旦大學信息科學與工程學院
- 所在地點：上海市楊浦區邯鄲路220號
- 產 地：日本
- 產 商：日本ULVAC公司
- 價 值：0
- 購置日期：1899-11-30
主要技術指標：極限真空：成膜室 1.210-6 Pa (load lock)準備室 6.710-4 Pa樣品尺寸：4寸(1片/次)可通3路氣體：Ar、N2、O2(50 sccm)。可做普通濺射、共濺射和反應濺射，可對樣品進行預濺射清洗；襯底溫度： 800 oC厚度均勻性：優于±3%靶材尺寸：2寸(磁性：2 mm厚；非磁性：5 mm厚)
功能/應用范圍：該設備是制備超薄金屬氧化物緩沖層、阻變薄膜、鐵電薄膜的關鍵設備.
技術特色：-
主要測試和研究領域：電子/信息技術
收費標準：其它收費方式
儀器負責人：林殷茵,陳潔 電話：65642198
電子郵件：zhoupengfudan@gmail.com
