原位X-射線物質結構分析儀

　　主要技術指標：X射線發(fā)生器：最大輸出功率：3kW，光管功率：2kW；最大管壓：50kV；最大管流：60mA。測角儀：采用光學編碼器技術；測角儀半徑：185~285mm可調；轉動范圍：-110...

復旦大學先進材料實驗室

磁控濺射系統(tǒng)

　　主要技術指標：真空度達1X10-6乇，襯底溫度可達100度直流濺射電源功率1000瓦　　功能/應用范圍：有2個DC濺射靶，可以在真空狀態(tài)下濺射生成一類材料薄膜或多層不同薄膜，...

復旦大學材料科學系

雙束聚焦離子束系統(tǒng)

　　主要技術指標：離子束：30kv分辨率7nm，加速電壓2-30kv。電子束：鎢燈絲電子槍　　功能/應用范圍：材料微細加工及樣品制備?！　≈饕獪y試和研究領域：材料/珠寶首飾電子/信息...

復旦大學材料科學系

濺射鍍膜系統(tǒng)

　　主要技術指標：1)Chambersize:600*750*620mm2)Ultimatepressure:8.0*10-7mbar3)3*4"Magnetrons(2*DC&1*rf)4)Co-sputteringprocess5)targetdiameter:100mm...

復旦大學信息科學與工程學院