工具顯微鏡采用通用L2-50落射照明器，亮視場、大視野無閃爍正像，如明場、暗場、簡易偏光、DIC微分干涉落射熒光。工作臺鑄鐵采用天然失效處理，工作臺配有快速釋放機構，方便X/Y傳動，單手即可實現快速移動工作臺。

    廣泛應用半導體封裝、焊接貼片、環路高度、FPD面板（LCM）、MEMS、晶片級CSP、硬盤滑行磁頭等產品領域。

    儀器型號：QI-U2010         QI-U3020

    測量行程：200*100mm     300*200mm

    分辨率：0.001mm

    測量精度：（ 2+L/200）μm,L無負載測量長度（mm）

    三目鏡頭10X  四孔物鏡轉換器含50X超長距離物鏡

    放大倍率：光學500X

    外觀尺寸：1000*600*1400mm      1200*720*1600mm

    儀器重量：100Kg     120Kg

    影像分析系統： 日本WATEC 1/2″彩色CCD ，M2D-AT測量軟體，可選配3D軟體

    工作電腦一套（獨顯卡）