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服務項目：各種固體表面的元素成分、化學價態、分子結構分析和深度剖析等。
測試深度：金屬0.5~3nm，氧化物2~4nm，有機物4~10nm；理論測試面積：Φ200μm，Φ400μm，Φ800μm，800μm*2000μm，實際面積在理論面積的三倍以上；定性檢測限0.1at%；定量誤差±10at%。異物尺寸要求大于Φ2000μm。
測試范圍： •檢測除了H 、He以外的所有元素 •檢測極限:0.1％
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