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純氮純度檢測(cè)
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成分 純氮 高純氮?dú)?超純氮?dú)?單位
氮?dú)?≥ 99.99% 99.999% 99.9999% %V
氫氣 ≤ 15 1 0.1 ppmv
氧氣 ≤ 50 3 0.2 ppmv
一氧化碳 ≤ 5 1 0.1 ppmv
二氧化碳 ≤ 10 1 0.1 ppmv
總碳 ≤ 5 1 0.1 ppmv
水份 ≤ 15 3 0.2 ppmv
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