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新宇宙式特氣檢測部 PS-7（半導(dǎo)體工廠用）帶顯示的檢測部

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特點(diǎn) 氣體采樣流量自動控制功能 LCD顯示，現(xiàn)場狀態(tài)一目了然實(shí)現(xiàn)小型、輕量化可簡單地更換傳感器和采樣氣路帶有防止傳感器單元錯(cuò)誤插入的功能可以設(shè)定多樣的維護(hù)模式組合對應(yīng)熱分解單元與定電位電解式傳感器，能檢測NF3等實(shí)現(xiàn)了用PDA讀取數(shù)據(jù) 符合CE規(guī)格，SEMI規(guī)格型號 PS-7 標(biāo)準(zhǔn)型附帶轉(zhuǎn)換器組件型檢測原理 •定電位電解式、熱絲型半導(dǎo)體式、隔膜電流電池式•熱分解+定電位電解式采樣方式泵吸引式（0.5L/min吸引流量自動控制）采樣配管特氟隆外徑6內(nèi)徑4mm、配管距離在20m以內(nèi) 氣體濃度顯示液晶數(shù)字四位顯示（附帶單位）20分割條形圖報(bào)警接點(diǎn) •氣體報(bào)警（1段以及二級）報(bào)警、紅色液晶指示燈閃爍、液晶畫面第1段 ALARM1 1段 ALARM1 ALARM2顯示 •流量降低報(bào)警堵塞指示顯示：流量顯示為低速運(yùn)轉(zhuǎn) 報(bào)警：黃色LED指示燈閃爍：液晶畫面 FLOW顯示以及流量顯示為停止運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài) •傳感器故障報(bào)警/傳感器誤插入報(bào)警報(bào)警：黃色LED指示燈閃爍：液晶畫面 SENS.顯示 •熱分解爐斷線報(bào)警報(bào)警：黃色LED指示燈閃爍：液晶畫面 CONV.顯示外部輸出氣體濃度模擬輸出 DC4~20mA（與電源的負(fù)極通用）氣體報(bào)警接點(diǎn)（1段以及兩極） 1a無電壓接點(diǎn)/自動復(fù)位故障報(bào)警接點(diǎn) （開路集電極/自動復(fù)位）適合電纜線幕電纜線（Φ8~11mm）x2 3芯或者4芯使用溫度濕度范圍 0℃~40℃（但是不能有劇烈的溫度變化）、30~85%RH（但不能結(jié)露）使用電源 DC24V±10% 消耗電力約7w 尺寸 •W62xH124xD143mm(除去突起物)•W62xH124xD143mm(除去選購件和突起物) 重量約1.0kg 安裝方法壁掛式

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