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PLR3000光纖激光尺

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品　　牌：
中圖儀器

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光纖激光尺是新一代高精度位置檢測設備，基于激光干涉測量原理，專為超精密加工、微電子制造、光刻技術、航空航天等高要求領域設計。其突破性技術融合高穩(wěn)定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸，支持單軸至多軸測量，分辨率可達10nm，線性精度高達0.2ppm，為復雜工業(yè)場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。 PLR3000系列光纖激光尺配置高穩(wěn)定氦氖激光光源，激光通過保偏光纖引導，用戶可輕松將干涉儀配置到任意需要測量位置，最大限度減小阿貝誤差。可根據(jù)用戶需求，配置單軸、雙軸以及三軸輸出，輕松實現(xiàn)多軸測量或多自由度測量。同時提供多種干涉探頭配置，用戶可根據(jù)實際需求選擇角錐棱鏡干涉儀、平面鏡干涉儀和差分干涉儀以及無內(nèi)置干涉鏡組的測量探頭，滿足用戶各種復雜場景應用。核心優(yōu)勢 1. 高精度（1）分辨率10nm（可拓展），線性測量精度0.2ppm，穩(wěn)頻精度0.02ppm，滿足納米級測量需求。（2）環(huán)境氣象站實時補償溫度、濕度、氣壓對測量的影響，確保數(shù)據(jù)長期穩(wěn)定。 2. 靈活配置（1）支持單軸、雙軸、三軸輸出，輕松實現(xiàn)多自由度測量。（2）可選差分干涉儀、平面鏡干涉儀、角錐棱鏡干涉儀等多種探頭，適配復雜場景。 3. 高穩(wěn)定性與便捷性（1）激光光源與探頭分離設計，3米鎧裝光纖連接，避免設備散熱干擾，安裝靈活。（2）體積小巧，適配狹小空間，降低阿貝誤差風險。 4. 廣泛適用性大量程4米（可拓展），支持動態(tài)速度達2m/s，覆蓋從靜態(tài)檢測到高速運動場景。典型應用場景半導體制造：光刻機晶圓定位、精密工件臺反饋控制。航空航天：發(fā)動機葉片形變檢測、高精度裝配校準。精密加工：數(shù)控機床多軸聯(lián)動位置反饋、微機械元件測量。科研領域：光學平臺穩(wěn)定性監(jiān)測、超精密實驗設備控制。

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羅健

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