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SJ6000超精密便攜激光干涉儀

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中圖儀器

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中圖儀器SJ6000超精密便攜激光干涉儀是國產光學干涉儀品牌，可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；在動態測量軟件配合下，可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析，如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。技術規格穩頻精度 0.05ppm 動態采集頻率 50 kHz 預熱時間 ≤ 6分鐘工作溫度范圍 (0~40)℃ 存儲溫度范圍 (-20~70)℃ 環境濕度 (0~95)%RH 線性測量距離 (0~80)m (無需遠距離線性附件) 線性測量精度 0.5ppm (0~40)℃ 角度軸向量程 (0~15)m 角度測量精度 ±(0.02%R+0.1+0.024M)″ 產品功能（1）可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；（2）可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；（3）可實現對機床回轉軸的測量與校準；（4）可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；（5）SJ6000超精密便攜激光干涉儀具有動態測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等；（6）支持手動或自動進行環境補償。光刻機Y軸Vertical Straightness測量傳感器線性精度測量產品配置 SJ6000激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。其中，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成。可滿足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。 SJ6000超精密便攜激光干涉儀測量分辨率可達0.01″，系統測量精度為±1″，基準WR50自動精密轉臺重復精度為0.2″。主要由SJ6000激光干涉儀主機、角度鏡組、WR50自動精密轉臺、SJ6000回轉軸測量軟件構成。

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羅健

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