TA300-1 勻膠機Spin Coater
旋涂儀 真空旋轉涂層機
產品型號:TA300-1 勻膠機Spin Coater 旋涂儀 真空旋轉涂層機
產品簡介:主要用于液體,膠體在材料表面薄膜的形成,
適用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷等制版表面涂覆工藝。
可在科研,教育,生產中應用。
TA300-1 勻膠機Spin Coater主要特點:
TA300-1 勻膠機Spin Coater旋涂儀真空旋轉涂層機:
TA300-1高精度勻膠機旋涂儀
可設定存儲26個不同樣片的旋轉涂敷工藝過程。
TA300-1高精度勻膠機旋涂儀
每個涂敷工藝過程可以設置51步不同的速度狀態;
TA300-1高精度勻膠機旋涂儀 液晶顯示屏可以實時顯示:
1.第N個涂敷工藝過程
2.所處工作段
3.真空吸片狀態。
4.設置時間;及實時運行時間。
5.設置速度;及實時速度狀態。
中英文兩套操作系統供選擇。
人機交互式對話,簡潔,明了。
TA300-1 勻膠機Spin Coater 旋涂儀 真空旋轉涂層機:
TA300-1高精度勻膠機旋涂儀 安裝有真空度傳感器,涂敷工作過程電腦實時檢測系統真空度,
必須在安全的真空度下,電機啟動,運行。保障可靠吸片,不飛片。
TA300-1高精度勻膠機旋涂儀
電機轉速精度更高:
300 - 10000 轉/分,轉速穩定性:+ - 0.1 %
最高轉速10000轉/分
TA300-1高精度勻膠機旋涂儀 NPP材質工作腔,外表面潔凈光亮。美觀,方便清洗。
TA300-1高精度勻膠機旋涂儀 能精確滴定一種膠體。
工作腔直徑315mm。可以旋涂最大基片直徑250mm圓片或 200mm*200mm方片 。
TA300-1 勻膠機Spin Coater技術指標:
1 自動定時 :可設定 :0.01—1S 0.1—10 S 0.2—20S 0.3—30S
2 重復準確度 :± 0.5 %
7最小注滴量 :0.01ml
NPP的化學穩定性優異,對大多數酸、堿、鹽、氧化劑都顯 惰 性。例如在100℃的濃磷酸、鹽酸、40%硫酸及其它們的鹽類溶液中都是穩定的。
TA300-1 勻膠機Spin Coater技術參數:
TA300-1高精度勻膠機旋涂儀 單相交流電源:220V.50Hz
TA300-1高精度勻膠機旋涂儀 電機功率:150W
TA300-1標準配置旋轉真空吸盤直徑:(62mm,標準配置)
轉數:300 - 10000 轉/分。
可設定時間:1---9999秒。
可選配件
1、85升/分有油真空泵
2、特殊真空吸盤
3. 全自動滴膠機一臺
無油真空泵特點 :無需任何潤滑油,可長時間連續使用,采用單項電源。
技術參數極限真空:-0.098MPa 抽氣效率:60(L/min) 功率:0.45(kw) 電壓:220V/50Hz(Hz/v)