西安測維光電技術(shù)有限公司

硅芯片檢查顯微鏡LW300MT

儀器用途：
LW300MT專為微電子行業(yè)量身定做，適用于硅、砷化鎵、磷化銦等基片6″8″盤的生產(chǎn)工藝檢查；可以方便的快移和精確的位移檢查；也可以適用其它需較大面積標(biāo)本的工藝檢查。
技術(shù)要求：
目鏡：10X 廣角目鏡, 焦距25 mm, 視場數(shù)Φ22 mm。
三目鏡： 30°傾斜，瞳距：53~75 mm。
物鏡：無限遠平場消色差明/暗視場物鏡 (無蓋玻片)

放大倍數(shù)
數(shù)值孔徑
工作距離(mm)
備注
5X
0.12
9.70

10X
0.25
3.73
20X
0.40
7.23
40X
0.60
3.04

轉(zhuǎn)換器：四孔滾珠內(nèi)定位轉(zhuǎn)換器。
載物臺：雙層機械式載物臺, 尺寸：210 X 140 mm，移動范圍：75 X 50 mm。
聚光鏡：阿貝聚光鏡（帶孔徑光欄, 數(shù)值孔徑1.25）。
調(diào)焦機構(gòu)：粗微同軸調(diào)焦，粗動手輪松緊可調(diào)，帶限位鎖緊裝置，微動格值2μm/格。
照明：上光源（落射照明）12V50W鹵素?zé)簦炼瓤烧{(diào)。下光源（透射照明）12V30W 鹵素?zé)簦炼瓤烧{(diào)。
電源：輸入電源電壓 (85~265V 50/60Hz)。
選購件：
1、目鏡：WF16X/11mm，WF20X/9mm，10X帶尺可調(diào)目鏡
2、物鏡:PL4X，PLL40X，PLL50X，PLL60X，PLL100X（干鏡），PL100X（oil）
3、攝像系統(tǒng)：數(shù)碼攝像頭130萬或300萬，數(shù)碼相機
4、測量軟件，金相分析軟件等

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王盈