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手套箱專用離子濺射儀

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　　手套箱專用離子濺射儀自動化程序控制，一鍵式操作，讓鍍膜更加高效。該設備采用觸摸控制，外置泵組設計，采用平面磁控濺射靶設計，從而使試樣在熱效應最小的條件下得到最有效的濺射效果，常用于鋰電池電極防氧化研究中。　　手套箱專用離子濺射儀的操作方式一般如下：　　前期準備　　設備檢查：確保離子濺射儀的外觀無損壞，各連接線正常。打開電源開關后，查看設備的顯示屏、指示燈等是否正常亮起，有無故障提示。　　樣品準備：將要進行濺射的樣品放入手套箱內，注意樣品的放置位置要便于操作和觀察。對于一些特殊形狀或尺寸的樣品，可能需要使用專門的樣品夾具或托盤來固定。　　手套箱環境準備：檢查手套箱內的氣體環境是否符合要求，如是否充滿了惰性氣體等。同時，確保手套箱內的溫度、濕度等環境參數在合適的范圍內，以保證離子濺射過程的穩定性和樣品的質量。　　操作流程　　開啟設備：通過手套箱上的操作窗口或控制面板，打開離子濺射儀的電源開關，啟動設備。此時，設備可能會進行自檢程序，等待自檢完成后，進入下一步操作。　　選擇濺射模式：根據實驗需求，選擇合適的濺射模式，如直流濺射、射頻濺射等。不同的濺射模式適用于不同類型的材料和應用場景。例如，金屬靶材通常采用直流濺射模式，而絕緣材料則更適合射頻濺射模式。　　安裝靶材：將所需的靶材安裝在離子濺射儀的相應位置上。安裝時要注意靶材的安裝方向和緊固程度，確保靶材與設備之間的良好電接觸。有些離子濺射儀配備了可更換的靶材座，方便用戶根據不同的實驗需求更換不同種類的靶材。　　設置參數：根據樣品的要求和實驗目的，設置離子濺射的相關參數，如濺射時間、濺射電流、工作電壓等。這些參數會直接影響到濺射薄膜的厚度、質量和均勻性等性能指標。一般來說，較長的濺射時間和較大的濺射電流可以獲得較厚的薄膜，但過高的工作電壓可能會導致薄膜出現缺陷或損壞。　　開始濺射：確認參數設置無誤后，按下 “Start” 或 “Run” 等按鈕，啟動離子濺射過程。在濺射過程中，可以通過觀察窗或顯示屏實時監測濺射的狀態，如濺射電流、真空度等參數的變化情況。　　結束濺射：當達到預設的濺射時間或其他結束條件時，離子濺射儀會自動停止濺射。也可以手動按下 “Stop” 或 “Pause” 等按鈕來中斷濺射過程。結束后，先關閉離子濺射儀的電源開關，然后等待設備冷卻一段時間，再進行后續的樣品取出和處理操作。　　http://www.gevee-tech.com.cn/product/209.html

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