Renishaw雷尼紹Resm系列圓光柵
雷尼紹Resm圓光柵具有 很好的性能。Resm刻劃精度達±0.5角秒、分辨率達0.004角秒,適用于精度要求極高的測量場合。
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頂部Resm圓光柵Resm圓光柵是一種是在柱面上直接刻線的一體式不銹鋼圓光柵。20μm柵距Resm與RGH20和RGH35讀數頭兼容,而40μm柵距Resm與RGH34和RGH40讀數頭兼容。
刻劃精度達±0.5角秒,系統重復性達0.004角秒提供多種直徑和刻線數,可與一系列具有行業標準的控制器兼容(直徑從52 mm到550 mm,刻線數從4096到86 400)具有有的錐面安裝方式極大地降低了安裝誤差,簡化了系統集成10 mm x 10 mm小截面圓光柵低質量與低轉動慣量的設計增強了動態性能一體式不銹鋼圓光柵能夠抵御振動、機械和熱撞擊,以及熱負載為了保證更高的加速度和減速度以及更快的恢復時間,還可提供轉動量極低的"B"截面圓光柵參考零位(具有可重復的起始位置)由單獨的勵磁塊提供20μm柵距圓光柵與UHV兼容型RGH20F讀數頭兼容升級為TONiC
頂部RGH20讀數頭的特性與優點讀數頭結構小巧,能夠提供具有行業標準的模擬和數字輸出非接觸式設計提供高速、可靠的操作,摩擦和磨損均為零讀數頭的LED安裝指示燈簡化了安裝過程具有有的光學濾波系統在大多數開放式光柵都不適用的條件下,仍具有優異的信號穩定性REF接口提供自動增益控制(AGC)、自動平衡控制(ABC)和自動偏移量控制(AOC),極大降低了周期誤差(<±50 nm)參考零位提供可重復的起始位置,而限位開關則指示軸行程的終點可提供超高真空兼容型RGH20F版本
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技術規格讀數頭尺寸14.8 mm x 36.0 mm x 13.5 mm (RGH20) (H x L x W)10.5 mm x 36.0 mm x 13.5 mm (RGH20F)9.5 mm x 15.0 mm x 15.0 mm (RGH35)輸出(分辨率)RS422:5μm、1μm、0.5μm、0.2μm、0.1μm、50 nm、20 nm(有RGH20F)、10 nm(有RGH20F)、5 nm(有RGH20F)模擬:1 Vpp細分RGH20—內置細分電路達50 nmRGH20F—REF接口(x4至x4 000)(可獲得從x4至x4096的二進制細分系數)RGH35—RGI34接口(x4至x400)參考零位勵磁塊上的螺栓限位開關單限位(RGH40與40μm柵距Resm具有雙限位)高速度2938轉/分(直徑為?52 mm時為20μm)間隙公差0.8±0.08 mm柵尺類型20μm柵距(與RGH20和RGH35兼容)和40μm柵距(與RGH34和RGH40兼容)Resm圓光柵真空兼容是—RGH20F和20μm柵距Resm頂部系統精度—20μm柵距Resm與RGH20標稱外徑(mm)系統精度(角秒)52 5.657 5.175 3.9100 2.9101 2.9103 2.8104 2.8115 2.5150 1.9200 1.4標稱外徑(mm)系統精度(角秒)206 1.4209 1.4229 1.3255 1.1300 1.0350 0.8413 0.7417 0.7489 0.6550 0.5注:系統誤差等于刻度誤差加上電子細分誤差(SDE)。偏心等作用會影響安裝性能;
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