檢測認證人脈交流通訊錄
- 勻膠機吸盤在旋涂過程中一般采用自轉式旋涂的方式來完成工藝。因此基片需要固定在旋轉吸盤上，通常采用的方法是真空吸附，所以吸盤的大小以及真空的強度兩者對基片吸附后產(chǎn)生的形變有一定的影響，如吸盤面積越小，吸附后產(chǎn)生的形變就越大,這時所旋涂的基片片內膜厚誤差會加大，且容易產(chǎn)生干涉花紋，通過實際驗證后得出：吸盤面積占所吸附基片面積的1/2~2/3為佳。 勻膠機的吸盤（英文名稱：chuck）又稱勻膠機載物盤，勻膠機托盤、真空托盤、勻膠機片托等。 根據(jù)勻膠機固定基片的方式不同又可細分為真空托盤和非真空托盤，而我們口中常說的“吸盤”便是采用真空吸附的方式，將基片吸附在真空托盤表面。由此而衍生的轉接托盤便是利用同心圓的原理來實現(xiàn)基片和電機旋轉的轉速達到一致. 更多產(chǎn)品信息訪問武漢月憶神湖科技有限公司 https://www.chem17.com/st504055/erlist_2339554.html http://www.whyueyi.com/Products-36793039.html
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