矽翔微機(jī)電系統(tǒng)有限公司專門為醫(yī)療設(shè)備應(yīng)用而設(shè)計、制造的MEMS系列流量傳感器產(chǎn)品，具有雙向、大流量、直接測量等功能。全密封設(shè)計可用液體醫(yī)用消毒液進(jìn)行浸泡消毒，適用于呼吸機(jī)、麻醉設(shè)備、肺活量儀、肺功能儀、氧氣機(jī)及其他氣體測量相關(guān)設(shè)備。

　　FS1000系列 適用呼吸機(jī)/麻醉機(jī)。傳感器可測量最大流量為200SLPM，最小流量達(dá)到0.05SLPM可用于嬰幼兒及新生兒的呼吸監(jiān)測。傳感器有22mm和15mm兩種標(biāo)準(zhǔn)醫(yī)用接口規(guī)格。

　　FS2000系列 為呼吸機(jī)/麻醉機(jī)適用。這是世界上第一個大流量、直接雙向測量的傳感器，可測量120SLPM的流量。它還能進(jìn)行0到±20SLPM/±120SLPM的量程轉(zhuǎn)換。它適用于小兒、新生兒及成人呼吸機(jī)高端產(chǎn)品。

　　FS3000系列 專門為肺活量儀及肺功能儀適用。傳感器可測量最大流量為1200 SLPM。傳感器的響應(yīng)速度比現(xiàn)有所有應(yīng)用于肺功能儀的其它技術(shù)都要快很多。這使得通過精確監(jiān)測呼吸流量變化，從而準(zhǔn)確檢驗(yàn)、診斷人體呼吸系統(tǒng)的疾病成為可能。