納米壓印光刻技術在晶體行業(yè)、光學行業(yè)的發(fā)展領域及其廣闊：

1.晶圓級光學加工：2017年發(fā)布的結構光人臉識別技術第一次將微納光學元器件引入了消費類電子領域，晶圓級光學器件加工的概念也逐漸映入人們的眼簾。

2.2019年高端智能手機：3D傳感iTOF模組中的勻光片再次引入了納米壓印作為量產(chǎn)手段。

3.2020年AR衍射光波導光柵：加工將納米壓印技術的應用推向面積更大的12英寸，納米壓印終于完成了從科研到大規(guī)模量產(chǎn)的華麗轉身。

4.納米壓印原始模具：加工方式有電子束直寫、激光直寫、光刻、刻蝕、電鍍、機加工等。如此來看，模具的潔凈度必須得到有效的保障。因不管是被使用還是自身的制作都是高要求。

5.威固特VGT-1507FT光學級超聲波清洗設備用途：清洗納米模具、光學器件、晶圓表面粘附的灰塵及污染物；做到清洗后表面不得有油污及其他雜物，達到的清洗效率可以每天1班，每班12H，清洗每籃節(jié)拍2-4分鐘可調（以實際干燥時間為準）。

深圳威固特VGT-1507FT光學級超聲波清洗機（整機共為15個功能槽）：

原理：清洗過程中工件通過超聲波高頻產(chǎn)生的“氣化現(xiàn)象”的沖擊和系統(tǒng)自身不停地作上下運動，增加了液體的摩擦，從而使工件表面的污垢能夠迅速脫落，實現(xiàn)其高清潔度的目的。

設備配置：循環(huán)過濾系統(tǒng)、浸泡系統(tǒng)、自動恒溫系統(tǒng)、溢流系統(tǒng)、拋動系統(tǒng)、超聲波清洗系統(tǒng)、慢拉脫水系統(tǒng)、熱風烘干系統(tǒng)等。其中清洗部分與慢拉及熱風干燥部份分別獨立電器控制，設備采用環(huán)保型有機溶劑洗滌、水溶劑洗滌、純水漂洗、慢拉脫水熱風烘干，為自動智能式清洗機。

整機分部的結構配置系統(tǒng)：

自動上下料裝置：

• 上料系統(tǒng)可放置2-4個清洗籃工位；下料系統(tǒng)可放置1-2個清洗籃工位。
• 與整機呈“一”或“T”字擺放，可視生產(chǎn)實際情況穩(wěn)定。
• 清洗籃放置架有防滑落裝置。
• 上、下料結構采用通用清洗籃，能夠實現(xiàn)多種零件的通用上料。
• 上下料節(jié)拍通過感應開關與PLC相連，控制上下料節(jié)拍。

為清洗中產(chǎn)生的油污及使用的清潔溶液設置的結構：

1.每槽設四面溢流口，溢水槽寬35mm，各槽皆為獨立循環(huán)槽，由循環(huán)泵將洗劑由儲液箱抽出經(jīng)過濾后再運回清洗槽，即字母槽循環(huán)。

2.設置獨立循環(huán)過濾系統(tǒng)。

3.各槽底部設排液閥且互相串聯(lián)至總排管。

4.槽內設溫度感應器，溫控范圍：RT-100℃數(shù)顯可調。

5.槽外設置拋動。

6.由隔板分成兩腔，分油后的清潔溶液經(jīng)循環(huán)泵重新抽入清洗槽，實現(xiàn)自我循環(huán)，提高溶液的利用率，而分離后的油排放到總排管。

7.設市水進口，可分別接至各洗槽及儲液箱。

8.配冷卻水管，由清洗槽內溫度感應器通過電磁閥控制加水。

9.配不銹鋼加熱管，功率4KW。

10.設下限液位開關，水位低時自動聲光報警，報警器串聯(lián)。

11.儲液槽底部設排液閥，與清洗槽串聯(lián)同時排入總排管。

在超聲波清洗機中發(fā)生器起到的主力作用：

• 配置第四代超聲波發(fā)生器，從根本上保證超聲波的有效轉換率，保證超聲波效果并保證超聲波發(fā)生器質量的穩(wěn)定性。
• 超聲波發(fā)生器內設單片機，內附特有的定時系統(tǒng)，可根據(jù)生產(chǎn)需要任意調整清洗時間并形成一對一的設置，定時更具有靈活性，保證清洗的一致性。
• 超聲波強度光電信號顯示。

慢拉脫水槽、熱風烘干槽、工件提升橫移機構、拋動機構具備的功能優(yōu)勢：

• 槽面設齒狀溢流結構，純水由純水預熱箱進入。槽外貼保溫棉厚10mm。
• 槽體設備“OMRON”數(shù)顯溫控系統(tǒng)，檢測槽內工作溫度，溫控范圍：常溫～120℃。
• 槽體上部設抽風小孔，將溢出的水蒸汽抽走，放置水氣再次附著于提出的產(chǎn)品上。
• 原理：高精度表面清洗除前面需要有合理的清洗工藝和配置外，更需要良好的脫水效果。工件表面如果有任何垢點或積水點，都將導致制作中的失敗。高純水高溫慢拉脫水是產(chǎn)品高精度清洗必不可少的工序，有效的形成均勻的熱純水膜，迅速散失表面水份，實現(xiàn)表面高清潔度的目的，為后續(xù)干燥奠定有利基礎。
• 熱風烘干槽：每個烘干槽配置一套氣缸，氣缸帶動產(chǎn)品一起運動，形成密封蓋。
• 循環(huán)凈化熱風，經(jīng)高效過濾后，對產(chǎn)品進行干燥。
• FFU壓風系統(tǒng)：在烘干槽正上方的機架頂部設置一個FFU層流送風單元。由上往下吹風形成負壓風，致使工件加熱后附著物不易粘附。
• 工件提升橫移：由電機帶動鏈條傳送實現(xiàn)工件的提升下降運動，電機采用“松下”伺服馬達（速度變頻可調），功率1/2HP。
• 拋動電機通過偏心輪帶動線性滑塊上下運動，從根本上保證拋動的連續(xù)性，減少拋動的摩擦阻力，杜絕因工件過重而損壞拋動系統(tǒng)，從而實現(xiàn)拋動架帶動洗籃在清洗槽內作上下運動。運行穩(wěn)定性好，噪聲小。有利于表面污垢迅速脫落，提高清洗效果。