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氧元素是由英國化學家約瑟夫·普利斯特里與瑞典藥劑師及化學家舍勒于1774年分別發現。但是普利斯特里卻支持燃素學說。 另有說法認為氧氣首先由中國馬和首先發現。
舍勒。
1777年,法國化學家拉瓦錫提出燃燒的氧化學說,指出物質只能在含氧的空氣中進行燃燒,燃燒物重量的增加與空氣中失去的氧相等,從而推翻了全部的燃素說,并正式確立質量守恒定律。從嚴格意義上講,發現氧元素的為瑞典化學家舍勒,而確定氧元素化學性質的為法國化學家拉瓦錫。
在1608年,Cornelius Drebbel證明了加熱硝石(硝酸鉀,KNO?)能釋放氣體。這就是氧氣,然而并沒有對它進行鑒定。