美信檢測(cè)技術(shù)股份有限公司上海分公司

檢測(cè)通>> 美信檢測(cè)技術(shù)股份有限公司上海分公司

首頁(yè)

公司簡(jiǎn)介

熱門(mén)推薦

檢測(cè)認(rèn)證人脈交流通訊錄

俄歇電子能譜 (AES, Auger)測(cè)試，表面形貌觀察測(cè)
這真不是您需要的服務(wù)？

直接提問(wèn) | 回首頁(yè)搜
對(duì)應(yīng)法規(guī)：依據(jù)所測(cè)試項(xiàng)目要求
CNAS認(rèn)可項(xiàng)目：是

俄歇電子能譜 (AES, Auger) 俄歇電子能譜(AES、Auger)是一種利用高能電子束為激發(fā)源的表面分析技術(shù). AES分析區(qū)域受激原子發(fā)射出具有元素特征的俄歇電子。 AES電子束可以掃描一塊或大或小的表面. 它也可以直接聚焦在小塊表面形貌上（半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)經(jīng)常要求這樣）。聚焦電子束斑到10nm或更小的直徑使得AES成為小表面形貌元素分析的非常有用的工具。此外，它能夠在可調(diào)整的表面區(qū)域內(nèi)柵蔽電子束從而控制分析區(qū)域的尺寸。當(dāng)用來(lái)與濺射離子源的結(jié)合時(shí), AES能勝任大、小面積的深度剖面。當(dāng)與聚焦離子束(FIB)一起使用時(shí),它對(duì)于截面分析是很有用的。應(yīng)用范圍： ? 缺陷分析 ? 顆粒分析 ? 表面分析 ? 小面積深度剖面 ? 工藝控制 ? 薄膜成分分析 AES優(yōu)點(diǎn)： ? 小面積分析（30納米） ? 良好的表面靈敏度 ? 良好的深度分辨率表面分析技術(shù)利用電子、光子、離子、原子、強(qiáng)電場(chǎng)、熱能等與固體表面的相互作用，測(cè)量從表面散射或發(fā)射的電子、光子、離子、原子、分子的能譜、光譜、質(zhì)譜、空間分布或衍射圖像，得到表面成分、表面結(jié)構(gòu)、表面電子態(tài)及表面物理化學(xué)過(guò)程等信息的各種技術(shù)，統(tǒng)稱(chēng)為表面分析技術(shù)。表面組分分析包括表面元素組成、化學(xué)態(tài)及其在表層的分布測(cè)定等。后者涉及元素在表面的橫向和縱向(深度)分布。表面分析特點(diǎn)：表面是固體的終端，表面向外一側(cè)沒(méi)有近鄰原子，表面原子有部分化學(xué)鍵伸向空間，形成“懸空鍵”。因此表面具有與體相不同的較活躍的化學(xué)性質(zhì)。表面指物體與真空或氣體的界面。表面分析通常研究的是固體表面。表面有時(shí)指表面的單原子層，有時(shí)指上面的幾個(gè)原子，有時(shí)指厚度達(dá)微米級(jí)的表面層。

美信檢測(cè)技術(shù)股份有限公司上海分公司

胡吉祥

[聯(lián)系時(shí)請(qǐng)說(shuō)明來(lái)自檢測(cè)通]

在線客服:
留言咨詢(xún)

聯(lián)系方式：
請(qǐng)點(diǎn)擊查看電話

郵件：
發(fā)送郵件

地址：
滬南公路9300號(hào)匯展國(guó)際商務(wù)中心1108室

美信檢測(cè)技術(shù)股份有限公司上海分公司

熱門(mén)推薦

俄歇電子能譜 (AES, Auger)測(cè)試，表面形貌觀察測(cè)

推薦服務(wù)