主要技術(shù)指標(biāo):真空室尺寸:離子束室為φ500×450,濺射室為φ560×300,進(jìn)樣室為φ250×400極限真空:離子束室為6.6×10-6Pa,濺射室為6.6×10-6Pa,進(jìn)樣室為6.6×10-4Pa。
主要附件及功能:功能及應(yīng)用范圍:可用于開發(fā)納米級(jí)的單層及多層功能膜-各種硬質(zhì)膜、金屬膜、半導(dǎo)體膜、介質(zhì)膜等。儀器主要附件:計(jì)算機(jī)控制軟件。
主要測(cè)試研究領(lǐng)域:農(nóng)產(chǎn)品和食品,生態(tài)環(huán)境,材料
儀器聯(lián)系人:熊祖洪
電話:023-68367528
開放機(jī)時(shí)安排:工作日