主要技術(shù)指標
有機真空室極限真空度:1.5×10-7Pa;電子槍真空室極限真空度:1.1×10-5Pa;進樣真空室極限真空度:2.5×10-5Pa;樣品架可升降旋轉(zhuǎn),樣品加熱:~600℃。
主要功能
有機光電子材料與器件制備,如有機發(fā)光材料薄膜器件的制備。
技術(shù)特色
多腔體互聯(lián),高真空保持。
主要測試或應(yīng)用領(lǐng)域
電子/信息技術(shù)
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