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機(jī)構(gòu)登錄
檢測(cè)認(rèn)證人脈交流通訊錄

| 主要技術(shù)指標(biāo) | 高壓發(fā)生器功率:3KW;電流60mA;電壓 60kV。 X光管:陶瓷管;Cu靶。 檢測(cè)器:正比充Xe氣計(jì)數(shù)器,最大計(jì)數(shù)率1,000,000cps。 測(cè)角儀:θ/θ和θ/2θ方式,角度重現(xiàn)性±0.00010,2θ范圍-400—1700。 樣品XYZ范圍:100mm/100mm/12mm,分辨率0.01mm/0.01mm/0.001mm。 樣品傾動(dòng)角(chi):1800,分辨率<0.0050。 樣品旋轉(zhuǎn)角(phi):±3600,分辨率<0.0050。 | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域 | 高分辨x射線衍射儀可用于半導(dǎo)體單晶材料結(jié)構(gòu)分析、應(yīng)力分析以及位錯(cuò)研究,對(duì)半導(dǎo)體GaN,AlGaN,InN以及GaN/InGaN多量子阱結(jié)構(gòu)材料進(jìn)行結(jié)構(gòu),晶體完整性等測(cè)試分析。 | ||||||||||
| 學(xué)科領(lǐng)域 | 半導(dǎo)體單晶材料結(jié)構(gòu),應(yīng)力以及位錯(cuò)分析。可進(jìn)行θ/θ和θ/2θ掃描,小角略射,到易空間分析等。 | ||||||||||
| 主要功能 | 高分辨x射線衍射儀可用于半導(dǎo)體單晶材料結(jié)構(gòu)分析、應(yīng)力分析以及位錯(cuò)研究。 | ||||||||||
| 主要附件 | 冷水機(jī)組。10℃-50℃范圍的溫度控制,水溫可控制精度在2℃范圍。 | ||||||||||
| 樣品要求或共享須知 | 大于1*1cm的半導(dǎo)體單晶片。 | ||||||||||
| 收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn) | 暫不共享。 | ||||||||||
| 使用人 | 謝自力 | ||||||||||
| 儀器地點(diǎn) | 蒙民偉樓27樓超凈實(shí)驗(yàn)室 | ||||||||||
| 儀器管理員 |
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