應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域: B高技術(shù)服務(wù);
學(xué)科領(lǐng)域: 物理學(xué);電子、通信與自動(dòng)控制技術(shù)
主要功能: 半導(dǎo)體材料的蒸發(fā)
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