檢測認證人脈交流通訊錄
- 儀器名稱：磁控濺射臺
- 價格型號：PVD75
- 儀器分類：其他
- 應用領域：其他
- 所屬單位：上海大學實驗設備處
- 所在地點：上海市寶山區上大路99號
- 產 地：美國
- 產 商：美國Kurt J.Lesker
- 價 值：0
- 購置日期：2010-09-20
聯系人：曾志剛(13818945625)、葉鋒杰(18810216468)
儀器簡介：
磁控濺射(射頻、直流)
基片旋轉、基片加熱、偏壓
可用程序控制鍍膜過程自動化
主要技術指標：
2個射頻源，1個直流源，基片加熱溫度最高350度
應用范圍：
主要應用于：金屬、半導體及介質層直流/交流磁控濺射
