檢測認證人脈交流通訊錄

聯系人:梁雪(18964542931)
儀器簡介:
儀器配備以下主要附件:
1.新一代Elstar極靴內探測器(TLD)
2. ETD二次電子探測器
3. Omniprobe AutoProbe 200.2機械手
4.鉑沉積氣體注入系統
5.內置式等離子清洗系統
6.英國OXFORD公司INCA MX80-EDS
主要技術指標:
1.電子束系統分辨率:0.9nm(15kv)/1.4nm(1kv)
2.離子束系統分辨率:在束交叉點:4.5nm@30kV(統計測量法)
在束交叉點:2.5nm@30kV(單邊測量法)
3.電子束加速電壓:350V-30kV
4.離子束加速電壓:0.5-30kV
5.電子束流:≤22nA
6.離子束流:1pA–65nA
應用范圍:
納米級加工及觀測研究。


