檢測認證人脈交流通訊錄

技術指標
最佳空間分辨率:≤3μm;最佳能量分辨率:≤0.45ev; ;大面積,能量分辨率≤0.50ev,靈敏度400,000cps;空間分辨率20μm,能量分辨率≤0.50ev,靈敏度500cps.
儀器用途
(1)固體樣品的表面成分分析、化學態分析,取樣深度約為1-10nm;(2)材料中元素的深度分析,角分辨方式,氬離子與氬團簇離子刻蝕方式;(3)可進行樣品的原位處理,如原位加熱、冷卻、斷裂。應用范圍:納米薄膜材料,催化劑,微電子材料,高分子材料,生物材料,金屬材料,半導體材料,無機非金屬材料等。


