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機構(gòu)登錄
檢測認(rèn)證人脈交流通訊錄

技術(shù)指標(biāo)
電子束斑:1kV加速電壓時小于4nm,20kV加速電壓時小于2nm;束流大小漂移:小于0.5%/8小時;束斑位置漂移:小于300nm/小時。
儀器用途
微納結(jié)構(gòu)加工。


