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機構(gòu)登錄
機構(gòu)登錄
檢測認(rèn)證人脈交流通訊錄
- 儀器名稱：電子束光刻機
- 價格型號：e-LiNe
- 儀器分類：其他
- 應(yīng)用領(lǐng)域：其他
- 所屬單位：南京大學(xué)國資處
- 所在地點：南京市鼓樓區(qū)漢口路22號
- 產(chǎn) 地：
- 產(chǎn) 商：Raith
- 價 值：6733000 元/臺
- 購置日期：2009-03-01
技術(shù)指標(biāo)
電子束斑：1kV加速電壓時小于4nm，20kV加速電壓時小于2nm；束流大小漂移：小于0.5%/8小時；束斑位置漂移：小于300nm/小時。
儀器用途
微納結(jié)構(gòu)加工。
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