主要技術指標:測量模式:接觸模式、輕巧模式、MFM、EFM、智能掃描模式、抬高模式、力曲線模式、TR-Mode、橫向力模式、STM、C-AFM;XY方向不小于90µm×90µm,Z方向不小于10µm;Z方向噪聲水平小于0.05nm,XY方向噪聲水平:小于0.15nm
功能/應用范圍:可以測量不同樣品的表面形貌進行,也可以測試樣品中不同物質的摩擦系數,區別樣品不同組分,可以研究材料的磁性性質、導電性質,可測試樣品的彈性等信息,可研究樣品的相特性等;主要應用于半導體器件、材料、高分子、化學、生物、石墨烯、復雜氧化物等領域。
主要測試和研究領域:電子/信息技術