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機(jī)構(gòu)登錄

主要技術(shù)指標(biāo):分辨率:1.0nm@15kV、1.9nm@1kV;離子束分辨率:2.5nm@30kV;加速電壓:0.1-30kV(SEM)、1-30kV(FIB)
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功能/應(yīng)用范圍:用于各種微納器件和低維納米人工結(jié)構(gòu)的制作,是研究材料在低維度、小尺寸下量子行為的重要工具,應(yīng)用范圍包含:微納電子器件、光電子器件、微納機(jī)電系統(tǒng)、超導(dǎo)電子學(xué)器件、磁電子學(xué)器件、光子晶體等。
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主要測試和研究領(lǐng)域:電子/信息技術(shù)