主要技術指標:50x50x2.5μm掃描器,AFM橫向分辨率10-50nm,縱向分辨率〉1nm。
功能/應用范圍:功能包括:AFM,CAFM和EFM主要可用于較大范圍(1 - 50um)的表面性貌的測試和簡單的電學測試
主要測試和研究領域:其他
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