功能及用途
生物、制藥、納米材料、金屬材料、高分子材料、無機材料等方面的表面形貌觀察、粒度測量及微區元素成分分析
主要技術指標
分辨率1.0nm (15kV),1.4nm (1kV),放大倍數x20-x800,000
主要附件及功能
3軸馬達驅動,帶能量過濾器的高位二次電子探頭,背散射電子探頭,HORIBA能譜儀,減速模式
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