功能及用途
主要用于無機材料、有機材料、納米材料、半導體材料、生物制藥等樣品的微觀形態測試及微區的定性定量元素分析。
主要技術指標
冷場發射掃描電鏡配備3軸馬達驅動裝置、具有能量過濾器的高位二次電子探頭、背散射電子探頭及HORIBA能譜儀,最小分辨率1.0nm (15 kV)、1.4nm (1kV),最大放大倍數×800,000,能譜元素分析范圍Be4~U92。
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