主要技術指標:離子槍束能量:1.5KV-6KV;束直徑:350μm FWHM at 5kev;離子束電流密度:10Ma;減薄速度:硅,每小時40μm,5kv;樣品旋轉:無極可變,每分鐘1-6轉;離子束調制:單一或雙面橫截面減薄;真空度:5E-6Torr基本壓強,工作時8E-5Torrbase;凹坑儀定位精度:小于10nm;減薄厚度控制:1μm。
主要附件及功能:透射電鏡的制樣。
主要應用領域:材料,地質礦產
檢測項目:透射電鏡的制樣
儀器聯系人:褚勝林
聯系人電話:0731-88836663