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中南大學(xué)

檢測認(rèn)證人脈交流通訊錄
  • 儀器名稱:滑動雙溫區(qū)等離子增強沉積系統(tǒng)
  • 價格型號:OTF-1200X-II-80SL
  • 儀器分類:其他
  • 應(yīng)用領(lǐng)域:其他
  • 所屬單位:中南大學(xué)
  • 所在地點:湖南長沙岳麓區(qū)麓山南路932號
  • 產(chǎn)  地:中國
  • 產(chǎn)  商:合肥科晶材料技術(shù)有限公司
  • 價  值:0
  • 購置日期:2013-12-18

  主要技術(shù)指標(biāo):1雙溫區(qū),溫度梯度最大可達(dá)200℃。最高工作溫度1100℃。2等離子發(fā)射源的輸出功率為5-500W,射頻頻率為13.56MHZ,反射功率最大為200W,自動匹配,射頻接口為50?,噪音小于50db。冷卻方式為風(fēng)冷。電源為AC 208-240V,50/60HZ. 3無油真空泵機(jī)組,極限真空為10E-3Torr. 4質(zhì)量流量計精度為0.02%,數(shù)字顯示,自動控制。MFC 1范圍:0-100sccm。MFC 2和3范圍:0-200sccm。MFC 4范圍:0-500sccm。5控溫系統(tǒng)可實現(xiàn)最高20℃/min的升降溫速率,可升至最高1100℃。可實現(xiàn)不同的升降溫工藝。

  主要應(yīng)用領(lǐng)域:材料,電子與測量

  檢測項目:等離子體化學(xué)氣相沉積分析

  儀器聯(lián)系人:黃寒

  聯(lián)系人電話:0731-88830323

中南大學(xué)



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