主要技術指標:1)曝光精度:NUV,0.6微米, DUV,0.25微米2)對準精度:1微米
主要附件及功能:圖形轉移
主要應用領域:材料
檢測項目:微加工
儀器聯系人:唐東升
聯系人電話:0731-88873055
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