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測定每種化學元素的氣態原子或離子受激后所發射的特征光譜的波長及強度來確定物質中元素組成和含量。用于微量元素的分析，可分析的元素為大多數的金屬和硅、磷、硫等少量的非金屬。儀器技術參數靈敏度：低質量數 Li(7):50 Mcps/ppm；中質量數 Y(89):160 Mcps/ppm（7700x)；高質量數 Tl(205):80Mcps/ppm(7700x) 檢測限：低質量數Be(9):0.5ppt；中質量數In(115):0.1ppt；高質量數Bi(209):0.1ppt 氧化物干擾: CeO+/Ce+:1.5 %(7700x):3.0 %(7700s) 雙電荷干擾: Ce2+/Ce+:3.0 同位素比精度: RSD(107Ag/109Ag) 0.1% 質譜范圍：2-260 amu 豐度靈敏度：低質量端：5x10-7；高質量端: 1x10-7 送樣要求固體樣品，需提供100mg以上樣品，待測元素的含量必須小于0.1%，樣品應烘干并磨碎至200目以下。液體樣品，需提供2ml以上樣品，待測元素的濃度必須小于ppm級別，并注明介質種類（何種溶劑、酸、堿種類）。盡可能注明樣品的主要成份及待測元素的預期含量。確保樣品酸度小于5%、含鹽度小于0.02%、有機物濃度小于3%。金、鉑、鈮、鉭、鈀等稀有金屬礦石的工業品位（<0.05%）很低，可以用ICP-MS測試。其余金屬礦物則不宜用ICP-MS來測試含礦元素（可送AAS或者XRF測試）。應用領域環境試樣：如淡水、海水、巖石、土壤、污泥、固液廢棄物等半導體的各種材料、試劑的痕量污染物分析：如試劑中痕量金屬元素分析，高純金屬的雜質元素分析等. 食品分析：如奶粉、煙、酒、飲料、油、大米、小麥、肉類、魚類、火鍋底料等其他分析：紡織品、化妝品、玻璃鍍層，陶瓷釉料，橡膠塑料等物質中的金屬元素分析. 常見適用標準 GB/T 15072.7-2008、GB/T 6730.63-2006，GB/T 23942-2009，GB/T8538-2008等

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